Gas Blending 하는 방법
PowerPod 400을 이용해 가스 블렌딩 하는 방법
가스 블렌딩의 예
산소 50%, 질소 30%, 수소 20% 를 이용해 총 유량 100 slm의 혼합 기체를
만든다고 가정하고 PowerPod 400 을 이용해 마스터 / 슬레이브 방식으로
혼합하는 방법을 예를 들어 설명하도록 하겠습니다.
1. 제품 구성
우선 마스터 Mass Flow 제품과 슬레이브 Mass Flow Controller가 필요합니다.
마스터 Mass Flow 는 Meter / Controller 상관없이 사용이 가능하지만,
슬레이브 Mass Flow는 무조건 Controller를 사용해야 합니다.
따라서 마스터를 MFM 으로 설치한다면
MFM - 1개, MFC - 3개가 필요하며,
마스터 및 슬레이브를 모두 MFC로 사용한다면
MFC -4개가 필요합니다.
PowerPod 400 한대는 기본 구성입니다.
2. 제품 유량 선택 PowerPod 400
총 유량 100 slm 의 혼합 가스를 만들기 위해서 마스터 Mass Flow 제품의
총 유량은 최소 100 slm 이상이어야 합니다.
또한 기본 50%, 30%, 20% 설정으로 진행 하지만 추후 비율이 달라질 수 있기 때문에
슬레이브 MFC 또한 최소 100 slm 으로 구성해야 합니다.
3. 마스터 /슬레이브 제품 설정
제품이 준비가 되었으면 마스터 Mass Flow 제품과 슬레이브 MFC 들을
PowerPod 에 연결합니다.
설정값을 입력하기 전에 각각의 제품을 PowerPod 에
등록해야 합니다.
마스터 Mass Flow 제품은 무조건 채널 1로 설정해주어야 하며
위의 설명처럼 Mass Flow Meter 와 Controller
두가지 모두 사용이 가능합니다.
CCD-104
메인 화면에서 시작하려면 ‘MODE 키’를 누른 다음 ‘3 키’를 누르고,
‘ENTER 키’를 눌러 SETUP / CAL 을 선택합니다.
채널 1을 마스터로 설정하려면 ‘1 키’, ‘ENTER 키’, ‘6 키’를 눌러 RATIO 로 들어가고,
‘ENTER 키’, ‘2 키’를 눌러 ENABLE MASTER 로 들어가서 ‘ENTER 키’를 누릅니다.
남아있는 채널들 중 어느 것이 슬레이브 MFC 가 될지 지정하기 위해서는
슬레이브 상태 설정을 해야 합니다.
채널 2 를 슬레이브로 사용하려면
‘2 키’와 ‘ENTER 키’를 누르거나
‘1 키’와 ‘ENTER 키’를 누릅니다.
그러면 화면에 SLAVE B 가 채널 3과 연결되고
SLAVE C가 채널 4와
연결되도록 메시지가 나옵니다. PowerPod Specification
이 화면을 종료하기 위해서 ‘3 키’와 ‘ENTER 키’를 누르면 PowerPod는
현재 마스터 / 슬레이브 설정 정보가 업데이트 된 메인 화면으로 돌아가게 됩니다.
이 설정 과정 중, 언제든지 ‘ESC 키’를 누르면 업데이트를 취소하고
PowerPod의 메인 화면으로 돌아갈 수 있습니다.
PowerPod에 마스터 / 슬레이브 제품 입력하는 방법은
아래 그림을 참조하시기 바랍니다.
4. 설정값 입력
마스터와 슬레이브 MFC를 선택 하고나면 각 채널에 설정값을 입력할 수 있습니다.
설정값을 입력하기 위해 ‘CHANNEL 키’와 ‘특정 숫자키’ 를 누르면
특정 숫자 채널에 설정된 MFC가 선택되어 표시된 설정값의 왼쪽에 별표가 표시됩니다.
숫자키를 사용하여 새 설정값을 입력하고 (10진수로 입력) ‘ENTER 키’를 누릅니다.
PowerPod 및 유량 측정 장비가 실제로 가스가 흐르는 시스템에 연결되어 있는 경우,
마스터에 흐르는 유량 유무를 확인하고 시작하는 것이 가장 바람직합니다.
마스터가 MFM인 경우 작업은 PowerPod 과 별개로 수행해야 하며
마스터가 MFC인 경우, ‘CHANNEL 키’와 ‘1 키’, 그리고 ‘CLOSE 키’를 눌러
마스터를 닫도록 명령하거나 설정값을 0으로 만들면 됩니다.
이렇게 하면 슬레이브 MFC를 설정할 때 유량의 영점을 맞출 때 용이합니다.
슬레이브 MFC 의 F.S 이 동일한 경우
Ra = Q2 / Q1 이며
(‘Ra 는 유량값’, ‘Q2 = 슬레이브 MFC 유량값’,
‘Q1 = 총 유량’ 입니다.)
산소 - 50 / 100 = 50 slm
질소 - 30 / 100 = 30 slm
수소 - 20 / 100 = 20 slm
위와 같이 설정합니다.
각각의 슬레이브 MFC에
설정값이 PowerPod에 입력되면
그 후에는 마스터 유량을 변경할 경우,
각각의 슬레이브 MFC에서
총 유량에 비례하게 유량을 변경해 비율을 유지할 수 있게 됩니다.
현재 마스터 / 슬레이브 설정 정보가 업데이트 된 메인 화면으로 돌아가게 됩니다.
이 설정 과정 중, 언제든지 ‘ESC 키’를 누르면 업데이트를 취소하고
PowerPod의 메인 화면으로 돌아갈 수 있습니다.
