질량 유량 측정 / 제어기 (Mass Flow Meter / Controller) 사용백서
질량 유량계(MFM) 및 질량 유량 컨트롤러(MFC)에 대한 사용 가이드
질량 유량 컨트롤러(Mass Flow Controller)는
다양하고 견고하며 정확한 측정 및 제어가 가능한 장비로,
다양한 환경의 다양한 가스 유량에서 사용할 수 있습니다.
정확성과 안정성 및 신뢰성 측면에서
MFC를 최대한 활용할 수 있는 방법을 알려드립니다.
Hastings 300 Series를 소개합니다
Linearity
일반적인 Flow Sensor와는 달리 상단부(Up Stream)과 하단부(Down Stream),
두 곳에 코일이 감겨, 낮은 온도에서도 센서의 델타 'T'값이
유량에 따라 실시간으로 Linear 하게 변화합니다.
특허받은 센서 -> 정확하고 빠른 속도
특허받은 MFC 300 시리즈의 센서는 결과값이 Linear 하기 때문에
매우 정확하며, 빠른 반응 속도를 낼 수 있습니다.
낮은 압력 강하(Low Pressure Drop)
또한 센서 튜브가 다른 시리즈에 비교해
상대적으로 매우 큰 구경으로 디자인되어,
현존하는 질량 유량계들보다 낮은 '압력 강하'
(기체의 압력이 유량계를 지나면서 기존 압력보다 떨어지는 현상)을
구현할 수 있습니다.
Teledyne Hastings 사의 열식 질량 유량 센서는 전세계적으로 사용되고 있습니다.
관련 Application을 참고하시기 바랍니다.
