Mass Flow Meter / Controller 유량 및 측정 기체 변경 상품
기체의 유량을 측정할 때는 질량 유량측정기인 MFC 가 매우 유용하게 사용되어집니다.
MFC란 Mass Flow Meter 와 Mass Flow Controller 를 통칭하는데
이번 시간에는 MFC 를 사용하는데 있어서 최대 유량 및 유량 측정 기체의 변화가 일어나는 경우
이용할 수 있는 기존 사용 MFC의 유량 및 측정 기체 변경 상품에 대해
알아보도록 하겠습니니다.
MFC 의 사용 환경 변화?
MFC 란 질량 유량계를 의미하는데, 사용 환경에 따라 기체의 압력과 온도를 보정해 주어야 하는
체적 유량계와 달리 압력과 온도에 영향을 받지 않고 유량을 정밀하게 측정 및 제어할 수 있는 제품입니다.
현재 MFC 의 높은 성능에 맞춰 연구 시설이나 정밀 측정 및 제어가 필요한 공정에서 많이 사용되고 있는데
사용 환경 변화가 자주 일어나는 연구 분야에서는 종종 그에 따른 애로사항이 발생하기도 합니다.
연구 분야에서 일어나는 사용 환경 변화의 예를 들면
유량 변경 : 지난 연구에서는 최대 유량이 100 sccm 이었는데 이번 연구에서는 최대 유량이 10 slm 인 경우
10 sccm, 25 sccm, 50 sccm, 100 sccm, 1 slm, 10 slm, 20 slm, 25 slm 등
기체 변경 : 지난 연구에서는 질소(N2)를 사용했는데 이번 연구에서는 이산화탄소(CO2)를 사용할 경우
Air, O2, N2, CO2, H, He, Ar 등
압력 변경 : 지난 연구에서는 대기압 상태에서 진행했는데 이번 연구에서는 사용 압력이 달라진 경우
760 Torr, 100 psig, 10 bar, 20 bar 등
위와 같은 경우 일반적으로 기존에 사용하던 제품을 계속 사용하지 못하게 되는데,
가장 큰 이유는 제품의 최대 유량에 따라 정확도가 차이나기 때문에 사용할 유량에 맞춰
제품의 최대 유량을 설정하는 것이 유리하기 때문입니다.
또한 측정 기체에 따라 질량이 달라 재설정이 필요하고, 기체와 닿는 부품의 성분이 달라지기도 하기 때문에
최대 유량이나 측정 기체, 사용 압력이 달라지게 되면 기존의 제품을 그대로 사용하기가 어렵습니다.
인포라드 유량 및 측정 기체 변경 상품의 장점
일반적으로 위와 같이 MFC 를 사용하다가 사용 환경이 바뀌게 되면
현재까지는 대부분의 사용자들은 새로운 유량과 기체, 압력에 맞는 새 제품을 구매해야 했고
기존 제품들은 다시 사용할 수 없어 그냥 보관할 수밖에 없었습니다.
인포라드는 기존에 MFC 를 사용하던 사용자들의 편의를 위해 유량 및 측정 기체 변경 상품을 제공합니다.
유량 및 측정 기체 변경 상품의 장점으로는
새 제품 구입 대비 저렴한 비용
유량 및 측정 기체 변경 상품은 기존 사용자가 가지고 있던 제품의
부품을 교체하는 방식으로 이루어 지기 때문에 새 제품을 구매하는 것보다 더 저렴한 비용으로 제공됩니다.
기존 사용 제품의 신뢰도 및 정확성 재보증
기존 제품의 부품을 교체하고 재조정 하는 과정에서 0점 및 측정 정확도에 대한
교정이 이루어지기 때문에 제품 신뢰도와 정확성에 대한 보증이 재발생됩니다.
제품 교정 전 제품 교정 후
신속한 기술지원 보장
인포라드는 수도권 지역을 대상으로 48시간 이내 기술지원을 시범적으로 실시하며,
월 단위로 유량 및 측정 기체 변경 상품을 무제한 사용할 수 있는 서비스도 제공 예정입니다.
HFM/HFC 200 Series 의 장점
유량 및 측정 기체 변경 상품의 대상인 HFM/HFC 200 Series 의 장점에 대해 알아보도록 하겠습니다.
- 기존 Readout 과 호환되는 1% Accuracy analog MFC
- 30 ~ 100% 내의 유량 조절에 적합
- 모듈 형태로 부품 재사용률이 뛰어나고 세척이 용이
- 매우 안정적인 0점과 반복성
200 Series 는 위와 같은 장점이 있는데 그중 안정적인 0점과 반복성에 대해 더 알아보면,
반복성의 경우 ±0.05% of Fullscale 의 반복 정확도를 가지며
0점의 경우 사용 환경 0~60℃ 내에서 ±0.035% ℃ of F.S 의 정확도를 가집니다.
즉, 0점이 틀어지지 않고 반복적으로 측정해도 정확성을 유지한다는 얘기인데,
0점 안정성이 중요한 이유는 제품의 정확도가 아무리 좋더라도
0점이 틀어지게 되면 정확한 유량을 측정한다고 볼 수 없기 때문입니다.
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