이게 무슨차이야? 질량 유량계 - MFC와 MFM의 차이

기체의 유량을 측정할 때 많이 사용되고 있는 질량 유량 측정기.

MFM 또는 MFC 등으로도 불립니다.

두가지로 불리는 질량유량기 이번 시간에는 질량 유량계의 이름에 대해 알아보도록 하겠습니다.

질량 유량 측정기 - Mass Flow Meter (MFM)

파이프 사이에 장치를 연결한 후 장치 내의 센서가 들어있는 관을 지나는 기체의 질량을 측정해

총 유량을 측정하는 방식의 계측기입니다.

부피가 아니라 질량을 측정하기 때문에 온도나 압력으로 인한 기체의 부피 변화와

상관없이 유량 측정이 가능하다는 장점이 있습니다.

그 중에서도 열식 질량 유량계는 기체의 유량에 따른 열손실 크기의 원리를 이용해 질량을 측정합니다.

열식 질량 유량계의 유량 측정 원리

출처 : wikipedia

https://en.wikipedia.org/wiki/Thermal_mass_flow_meter

그래서 기능 그대로 질량 유량 측정기, 질량 유량계, 열식 질량 유량계 등으로 불리며,

영어로는 Mass Flow Meter, Thermal Mass Flow Meter, 줄여서 MFM 이라고 부르기도 합니다.

질량 유량 측정기의 기본적인 기능은 유량을 측정하는 장비 입니다.

옵션으로 별도의 리드아웃이 필요 없는 터치스크린 패널이 달린 제품이나,

배터리 충전 방식으로 전원 연결이 필요 없는 제품 등도 나오지만,

기본적으로는 이름과 같이(측정기 - Meter) 기체의 유량의 측정만 할 뿐

유량 제어는 가능하지 않습니다.

Teledyne Hastings 사의 Digital Mass Flow Meter

질량 유량 제어기 - Mass Flow Controller(MFC)

질량 유량 제어기는 위에서 설명한 질량 유량 측정기에 제어 기능을 추가해,

유량을 원하는 만큼 컨트롤 할 수 있는 제품입니다.

열식 질량 유량 제어기의 유량 제어 원리

출처 : wikipedia

https://en.wikipedia.org/wiki/Mass_flow_controller

그래서 이름도 질량 유량 제어기, 열식 질량 유량 제어기 등으로 불리며,

영어로는 Mass Flow Controller, Thermal Mass Flow Controller,

줄여서 MFC 라고 부르기도 합니다.

질량 유량 제어기는 사용 가능한 압력 상태에서 질량 유량을 제어할 수 있는 기능을 가지고는 있습니다. 설정압력 이상 또는 이하 조건에서는 유량제어에 어려움을 겪을 수 있습니다.

MFC는 유량 제어용이기 때문에, 항시 유량의 기밀을 요하는 경우에는 MFC 전후단에 별도의 Shut off 벨브 설치를 권장합니다.

Teledyne Hastings 사의 Digital Mass Flow Controller

측정기 옆에 달린 것이 제어기(Controller)입니다.

인포라드는 Teledyne Hastings 사의

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