화합물 사전 - 헬륨(Helium)
Teledyne hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 를 이용해 가스 유량을 측정할 수 있는 가스 화합물의 종류에 대해 알아보는 시간입니다. 이번 시간에는 화학식 He 인 헬륨에 대해 알아보도록 하겠습니다....
Case - MFC - Ar, NF3, He, O2, CF4, C4F6 - 50 SCCM
설치 제품 사양 제품명 : HFC-202 최대 유량 : 50 SCCM 기체 : Ar(아르곤), NF3(삼 불화 질소), He(헬륨), O2(산소), CF4(사 불화 탄소), C4F6(육 플루오르화 부틴) 납품처 : 대전 소재 연구소 HFC-202...