Case - MFC - Digital - Air - 250 SCCM
설치 제품 사양 제품명 : HFC-D-302B 최대 유량 : 250 SCCM 기체 : Air(공기) 옵션 : 배터리팩 장착 사용 환경 : 현장 테스트용 HFC-D-302B 제품 사양 제품에 대한 더 자세한 정보는 아래의 링크를 참고하시기...
Case - MFM - Digital - CH4 - 16 SCCM
설치 제품 사양 제품명 : HFM-D-300B 최대 유량 : 16 SCCM 기체 : CH4(메테인 / 메탄) 납품처 : A 대학 사용 환경 : CH4 발생 누적량 측정용 HFM-D-300B 제품 사양 제품에 대한 더 자세한 정보는 아래의 링크를...
Case - MFC - Ar, NF3, He, O2, CF4, C4F6 - 50 SCCM
설치 제품 사양 제품명 : HFC-202 최대 유량 : 50 SCCM 기체 : Ar(아르곤), NF3(삼 불화 질소), He(헬륨), O2(산소), CF4(사 불화 탄소), C4F6(육 플루오르화 부틴) 납품처 : 대전 소재 연구소 HFC-202...
MFM/MFC (Mass Flow Meter/Controller) 의 유량 단위
Mass Flow Meter/Controller 에서는 어떤 유량을 쓸까요? 질량 유량계에서는 여러가지의 유량 단위를 사용하지만 주로 사용 하는 단위는 아래와 같습니다. ccm (cc/m - cc per minute : 1분에 몇 cc 가...
열식 질량 유량계의 작동 원리
왜 질량 유량계라고 부르는건가요? 질량 유량계(MFM / MFC)의 작동원리에 대해 설명하기 앞서 왜 질량 유량계라는 이름으로 불리는지 알아보도록 하겠습니다. 질소(Nitrogen)와 산소(Oxygen), 헬륨(Helium) 등 기체는 각자 다른...