Case - MFC - Digital - H2 - 2 SLM
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFC-D-302B ์ต๋ ์ ๋ : 2 SLM ๊ธฐ์ฒด : H2(์์) ๋ฉํ์ฒ : A ๋ํ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ์ ๋ฐ ์ ๋ ์ ์ด ๋ฐ ์ธก์ ์ฉ HFC-D-302B ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ์ ๋ํ ๋ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ ์ฐธ๊ณ ํ์๊ธฐ...
Case - MFC - Digital - CO2 - 5 SLM
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFC-D-302B ์ต๋ ์ ๋ : 5 SLM ๊ธฐ์ฒด : CO2(์ด์ฐํํ์) ๋ฉํ์ฒ : A ๋ํ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ์ ๋ฐ ์ ๋ ์ ์ด ๋ฐ ์ธก์ ์ฉ HFC-D-302B ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ์ ๋ํ ๋ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ ์ฐธ๊ณ ํ์๊ธฐ...
Case - MFM - LFE - CH4 - 8" - 10,000 SLM
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ ํ์
: Mass Flow Meter (MFM) ์ ํ๋ช
: HFM-200-LFE ์ต๋ ์ ๋ : 10,000 SLM ๊ธฐ์ฒด : CH4(๋ฉํ
์ธ / ๋ฉํ) LFE ์ง๊ฒฝ : 8" Flange ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ๋ฒ๋ ์ฐ๊ตฌ์ฉ...
Case - MFC - Digital - Air - 1,500 SLM
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFC-D-307B ์ต๋ ์ ๋ : 1500 SLM ๊ธฐ์ฒด : Air(๊ณต๊ธฐ) ๋ฉํ์ฒ : ๋์ ์ฐ๊ตฌ์ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ํ๊ฒฝ ๊ด๋ จ ๋ฐฐ๊ธฐ๋ ์ธก์ ์ฉ HFC-D-307B ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ์ ๋ํ ๋ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ...
Case - MFC - Digital - Air - 10 SLM
ใ
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFC-D-302B ์ต๋ ์ ๋ : 10 SLM ๊ธฐ์ฒด : Air(๊ณต๊ธฐ) ๋ฉํ์ฒ : ๋์ ์ฐ๊ตฌ์ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ํ๊ฒฝ ๊ด๋ จ ๋ฐฐ๊ธฐ๋ ์ธก์ ์ฉ HFC-D-302B ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ์ ๋ํ ๋ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ...
Case - MFC - Digital - Air - 10 SLM
ir ์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFC-D-302B ์ต๋ ์ ๋ : 10 SLM ๊ธฐ์ฒด : Air(๊ณต๊ธฐ) ๋ฉํ์ฒ : A ๋ํ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ๋ถ์ฐ์ ์ฐ๊ตฌ์ฉ HFC-D-302B ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ์ ๋ํ ๋ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ ์ฐธ๊ณ ํ์๊ธฐ ๋ฐ๋๋๋ค....
Case - MFM - Digital - Air - 10, 50, 100, 300 SLM
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFM-D-300B / HFM-D-301B ์ต๋ ์ ๋ : 10 SLM, 50 SLM, 100 SLM, 300 SLM ๊ธฐ์ฒด : Air(๊ณต๊ธฐ) ๋ฉํ์ฒ : ์ง๊ณต ํํ ์ ์กฐ์ฌ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ์ ์กฐ ์ ํ ํ์ง ์ธก์ ์ฉ...
Case - MFC - Digital - N2, O2, Air - 500 SLM
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFC-D-303B ์ต๋ ์ ๋ : 500 SLM ๊ธฐ์ฒด : N2(์ง์), O2(์ฐ์), Air(๊ณต๊ธฐ) ๋ฉํ์ฒ : ๋ถ์ฐ ์์ฌ ๋ํ ์ถ์ง์ฒด ์ฐ๊ตฌ์ค HFC-D-303B ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ์ ๋ํ ๋ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ...
Case - MFM - Air - 6,000 SLM
์ค์น ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ๋ช
: HFM-306 ์ต๋ ์ ๋ : 6,000 SLM ๊ธฐ์ฒด : Air(๊ณต๊ธฐ) ๋ฉํ์ฒ : B ๋ํ๊ต ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ : ์์ง ๋ฐฐ๊ธฐ๋ ์ธก์ ํ
์คํธ HFM-306 ์ ํ ์ฌ์ ์ ํ์ ๋ํ ๋ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ ์ฐธ๊ณ ํ์๊ธฐ...
MFM/MFC (Mass Flow Meter/Controller) ์ ์ ๋ ๋จ์
Mass Flow Meter/Controller ์์๋ ์ด๋ค ์ ๋์ ์ธ๊น์? ์ง๋ ์ ๋๊ณ์์๋ ์ฌ๋ฌ๊ฐ์ง์ ์ ๋ ๋จ์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ง๋ง ์ฃผ๋ก ์ฌ์ฉ ํ๋ ๋จ์๋ ์๋์ ๊ฐ์ต๋๋ค. ccm (cc/m - cc per minute : 1๋ถ์ ๋ช cc ๊ฐ...