Mass Flow Controller 는 기본적으로 기체의 유량을 측정 및 제어하는 용도로 쓰이지만, 진공 센서와 같은 다른 종류의 센서와 함께 사용할 수도 있다는 것을 아십니까? 이번 시간에는 MFC 를 이용해 진공도를 제어하는 방법에 대해...