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Load-Lock 시스템의 작동 환경을 개선하는 방법
진공 시스템을 다룰 때 Load-Lock이라는 용어를 들어본 적 있나요? Load-Lock은 주로 진공 환경에서 사용하는데, 챔버의 특정 장비나 시스템을 개방하지 않고도 샘플이나 부품을 추가하거나 제거할 수 있는 장치를 뜻합니다....
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