반도체 제조 공정에서 사용되는 플라즈마(Plasma)
우리는 지난 시간에는 반도체 제조 공정 중, MFC가 사용되는 박막 증착(Thin Film deposition)과정과 식각(Etching)과정 에 대해 알아보았습니다. 반도체 제조 과정 중 MFC가 사용되는 박막 증착 과정(Thin Film...
반도체 제조 과정 중 Mass Flow Controller가 사용되는 박막 증착 과정(Thin Film Deposition)과 화학적 증착 방법(CVD)
질량 유량계, 질량 유량 제어기 라고 불리는 Mass Flow Meter / Mass Flow Controller 장비는 가스와 같은 기체의 유량을 측정하고 제어하는데 사용됩니다. 특히 기체의 유량을 제어할 수 있는 MFC는 기체를 지정한 유량만...
MFM/MFC 유량 측정 및 제어, 진공도 측정 및 데이터 로깅 소프트웨어 Gasmon 소개
MFC를 기반으로 한 기체 유량 및 진공 측정 솔루션을 제공하는 인포라드는 더 쉽고 편리한 사용 환경을 위해 다양한 소프트웨어를 개발하고 있습니다. 이번 시간에는 Mass Flow Meter/Mass Flow Controller의 유량 측정 및...
미세하게 유량을 제어하는 Needle Valve
일반적으로 파이프에 유량을 흐르게 하거나 막을 때는 사용 되는 것이 바로 밸브(Valve) 입니다. 그리고 밸브를 열어 파이프에 유량이 흐르는 상태에서 유량을 컨트롤 하고 싶을 때는 컨트롤러(Controller)를 사용합니다. 대부분 Mass...