가스와 같은 기체의 유량을 측정하고 제어하는데 사용되는 질량 유량계(Mass Flow Meter / Controller - MFM / MFC)는 다양한 어플리케이션에서 사용되고 있습니다. 지난 시간에는 반도체 제조 공정 중, MFC가 사용되는...